余摆经机械真空泵是油封机械真空泵的一种,它的转子理论型线为余摆线(也是椭圆)。 转子的实践型线为理论型线法向等移距曲线,而泵腔实践型线为外包络线。
从原理构造和使用性能来看,这种泵同现有的旋片泵和滑阀泵比较,具有很多长处。
转子具有杰出的几许对称性,运动中转子质心一直作圆周运动,其离心惯性力单级 泵可由配重给予平衡。双级泵可由转子的适当配置来平衡。当平衡杰出时,其偏疼质量所产 生的离心惯性力基本上能够平衡,因而,振荡小,转子滚动平稳。
转子的栗腔内因为偏疼齿轮内的行星传动而在泵腔内型线的运动,即有滚动也有滑 动,并且留有必定的空隙。因而冲突小,磨损发热也少。因为这两个特点,转子转速能够提 高,提髙抽速。
泵的进气口与排气口设在密封片的两边,增大了进气口的流导,有利于进步低压力 (1〜lOPa)下的抽速。单级余摆线真空栗在l〇Pa时已挨近额外抽速,而单级旋片泵和滑阀
泵只不过是额外抽速的50%〜65%。
因为在大tt低真空设备中,请求在1〜l〇Pa压力规模内有相当大的抽度。因而余摆线 真空泵特别适用于工业中的大排气量设备,如真空冶金、真空热处理、真空枯燥、浸溃以及 化工、食品工业等。
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